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"新宮原, 正三",銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究,,[新宮原正三],1999,科学研究費補助金基盤研究(A)(2)展開研究研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282270476323840