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東京大学生産技術研究所,"Seiken symposium on micro/nano mechatronics : [March 25-26, 2002, Tokyo] = マイクロ・ナノメカトロニクスの世界",,"[Institute of Industrial Science, The University of Tokyo]",2002,Seiken Symposium,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282270522376832