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"大見, 忠弘 and 須川, 成利 and 小谷, 光司 and 平山, 昌樹",気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発,,[大見忠弘],2002,科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282270578302848