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"星野, 仁",高機能濃縮 : 吸光検出系からなる半導体用超純水の簡易品質モニタリング機器の開発,,[星野仁],1996,科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282270646253184