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"安達, 芳夫 and 生駒, 俊明",光学的手法を用いた化合物半導体基板の評価とその特性改善に関する基礎的研究,,[東京大学生産技術研究所],1984,科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282270822546176