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"大橋, 一仁",表面粗さのインライン全数検査を実現する高速インプロセス測定システムの開発,,大橋一仁,2008,科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282270986548096