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"芳井, 熊安",高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜,,大阪大学工学部,1997,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271175439872