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"杉山, 進",移動マスクX線加工法を用いたマイクロ3次元構造加工システム開発に関する研究,,[杉山進],2003,科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271350742272