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"阿尻, 雅文",流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発,,[阿尻雅文],1990,科学研究費補助金(試験研究1)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271376122880