著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "森, 勇藏",イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究,,大阪大学工学部,1995,科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271485107328