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VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik,"Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 14. November 1991 : Tagungsbericht",,VDI-Verlag,1991,VDI-Berichte,,3180909358,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271610372608