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"庭野, 道夫",放射光励起ガスソースCVDによる高誘電体薄膜の低温形成,,[庭野道夫],1994,科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271659351296