Author,Title,Edition,Publisher,Year,Series,Number,ISBN,ISSN,URL 東レリサーチセンター産業技術調査研究部門 and 東レリサーチセンター調査研究部門,エレクトロニクスを支える洗浄技術,,東レリサーチセンター調査研究部門,2005,TRC R&D library,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282271831524480