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"高分子学会 and 大津, 元一 and 河田, 聡 and 益子, 信郎 and 下田, 達也 and 東, 博純 and 緒方, 寿幸",微細加工技術,,エヌ・ティー・エス,2002,ポリマーフロンティア21シリーズ,,4860430069,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272192483968