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VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik,"FVF '93 : Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik : zukunftswesende Anwendungen bewährter Technologien : Tagung Darmstadt, 9. und 10. März 1993",,VDI Verlag,1993,VDI-Berichte,,3180910313,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272486806528