著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "古川, 静二郎",SOI構造形成技術,,産業図書,1987,集積回路プロセス技術シリーズ,,4782856253,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272829638656