著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL プレスジャーナル,半導体製造装置・材料業界,,プレスジャーナル調査部,2000,VLSI report,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272837642112