著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL
"岡崎, 信次 and 鈴木, 章義 and 上野, 巧",はじめての半導体リソグラフィ技術,,工業調査会,2003,ビギナーズブックス,,4769312245,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272870755968