著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "遠藤, 伸裕 and 小林, 伸好 and 若宮, 亙",はじめての半導体製造材料,,工業調査会,2002,ビギナーズブックス,,4769312105,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272888103168