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VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik,"Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 29. Oktober 1992 : Tagungsbericht",,VDI-Verlag,1992,VDI-Berichte,,3180910127,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282272963583488