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機械振興協会経済研究所,リソグラフィ体系転換前の半導体装置技術における橋渡し危機 : 半導体と製造装置の産業競争力に必要な後方基盤の取組,,機械振興協会経済研究所,1999,機械工業経済研究報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130282273039242368