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"VDI/VDE-GMA-Ausschuss 7.4--""Grundlagen der Längen- und Winkelmessung."" and VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik","Dokumentation Genauigkeit von Laserinterferometersystemen : Grundlagen, Prüfmethoden, Grenzwerte, Sicherheit, Beurteilung : zusammengestellt und herausgegeben vom VDI/VDE-GMA-Ausschuss 7.4--""Grundlagen der Längen- und Winkelmessung"", April 1989",,VDI-Verlag,1989,VDI-Berichte,,3180907509,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130296563708311809