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"坪内, 和夫",CVD法によるAINエピタキシャル成長膜及びその応用デバイスに関する研究,,[坪内和夫],1982,科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130296796585959683