著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "遠藤, 政孝",フォトレジストの最先端技術 = Leading edge technologies of photoresist,,シーエムシー出版,2022,エレクトロニクスシリーズ,,9784781316796,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130299816642770343