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"浅野, 種正 and 比嘉, 勝也 and 青木, 誠志 and 牧平, 憲治",電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究,,[九州工業大学マイクロ総合技術センター],1995,科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130575949897299200