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"VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik and VDI/VDE-GMA-Ausschuss 7.4--""Grundlagen der Längen- und Winkelmessung."" and Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany)","Laserinterferometrie in der industriellen Messtechnik : Tagung Braunschweig, 26. und 27. April",,VDI-Verlag,1989,VDI-Berichte,,3180907495,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130859513661717032