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"大阪大学レーザー核融合研究センター and 三間, 圀興",極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化研究成果報告書,,[大阪大学レーザーエネルギー学研究センター],2008,文部科学省リーディング・プロジェクト,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130864315061776706