著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) Sergej Fatikow and Ulrich Rembold,Microsystem Technology and Microrobotics,,,Springer Berlin Heidelberg,1997,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1360855571040674048,https://doi.org/10.1007/978-3-662-03450-7