MEMS-based humidity sensor with integrated temperature compensation mechanism

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Sensors and Actuators A: Physical

Sensors and Actuators A: Physical 147 (2), 522-528, 2008-10

Elsevier BV

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CRID

1361418520727390592
DOI

10.1016/j.sna.2008.06.033
ISSN

09244247
Web Site

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- Crossref

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