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槙石 規子 and 山本 公 and 岡野 輝雄 and 松村 泰治,X線マイクロアナライザーによるシリコンウエハ上タングステンシリサイド膜及びボロホスホシリケイトガラス膜の組成分析(<特集>表面・界面・薄膜と分析化学),分析化学,05251931,公益社団法人 日本分析化学会,1991,40,11,T195-T202,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204052014848,https://doi.org/10.2116/bunsekikagaku.40.11_t195