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玉野 順次 and 市川 正見 and 森田 慎三 and 服部 秀三,プラズマ重合多層レジストの効果,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1983,26,12,919-921,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063109504,https://doi.org/10.3131/jvsj.26.919