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熊渕 善太 and 宮野 忠文 and 河合 克浩 and 川畑 敬志 and 梶岡 秀 and 本多 茂男,多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したＮｉ薄膜の電磁波シールド効果,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2004,47,3,175-178,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063211264,https://doi.org/10.3131/jvsj.47.175