著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 荒川 一郎 and 辻 泰,指向性真空計による真空装置の漏れ検出 点状気体放出源の測定に関する解析,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1983,26,12,913-918,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063391360,https://doi.org/10.3131/jvsj.26.913