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伊藤 義文 and 島川 司 and 桑田 知江 and 平井 悦郎,連続式真空蒸着機におけるアルミニウム希薄蒸気流のモンテカルロシミュレーション,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1997,40,5,431-435,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063413888,https://doi.org/10.3131/jvsj.40.431