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山根 未有希 and 川田 洋揮 and 橘内 浩之 and 妻木 伸夫 and 山下 学 and 鈴木 慎一,有磁場マイクロ波エッチング装置内壁に入射するイオンのｉｎ ｓｉｔｕ分析,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,8,812-816,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063518592,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.812