著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
志堂寺 栄治 and 真壁 利明,反応性スパッタリングとターゲット マグネトロンプラズマのシミュレーション,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,8,767-772,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063537664,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.767