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重里 有三 and 伊藤 宜弘 and 今 真人 and 宋 豊根,反応性スパッタリングとターゲット オゾン添加反応性直流マグネトロンスパッタによるＩＴＯの成膜,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,8,779-784,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063539968,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.779