著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
全 炯敏 and 八田 章光 and 伊藤 利道,有磁場マイクロ波プラズマ気相合成装置内に付着した炭素薄膜の酸素プラズマによるエッチング,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1999,42,3,217-220,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063710464,https://doi.org/10.3131/jvsj.42.217