著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
井口 征夫 and 鈴木 一弘 and 小林 康宏 and 大久保 治 and 高橋 夏木,中空陰極法に関する 第２報 水平一体型大電流電子ビーム装置の開発と連続コーティングによるＴｉＮ膜質,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1995,38,7,639-645,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063880320,https://doi.org/10.3131/jvsj.38.639