著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
田畑 仁 and 川合 知二,エキシマレーザアプレーション法を用いた機能性薄膜の作製,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1993,36,2,81-86,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063967360,https://doi.org/10.3131/jvsj.36.81