著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
板谷 良平,低温プラズマと工学 ＩＩ 電子工学の立場から,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1985,28,4,157-167,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204063997184,https://doi.org/10.3131/jvsj.28.157