著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 松井 純,ターボ分子ポンプ内流れのシミュレーション,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2006,49,8,476-480,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204064213504,https://doi.org/10.3131/jvsj.49.476