著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
藤岡 寛之 and 真篠 聡一 and 愛敬 仁 and 後藤 みき and 荒井 俊彦,ホローカソード直流ＣＦ４プラズマ中のＣＦ３，ＣＦ２ラジカル密度計測,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1999,42,7,647-651,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204064237696,https://doi.org/10.3131/jvsj.42.647