著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
本間 芳和 and 竹中 久貴,極浅領域の深さ方向分析用多層ＢＮデルタドープ標準物質とそれによるスパッタ速度変化の評価,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2003,46,11,772-776,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204064625664,https://doi.org/10.3131/jvsj.46.772