著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
加藤 勇 and 若菜 伸一,新しいマイクロ波プラズマ化学気相たい積装置,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1983,26,7,628-636,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204064648704,https://doi.org/10.3131/jvsj.26.628