著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
安達 洋 and 鈴木 和郎,ＳＥＭを利用した微小針製作装置の試作,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1990,33,10,813-815,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204064656640,https://doi.org/10.3131/jvsj.33.813