著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 雨倉 宏 and 岸本 直樹,イオン注入熱酸化法によるシリカガラス中へのZnOナノ粒子の形成,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2007,50,2,128-134,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204064703744,https://doi.org/10.3131/jvsj.50.128