著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 北條 喜一,イオンビームスパッタ法によって作られたボロン薄膜の密度測定,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1984,27,7,589-595,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204064718080,https://doi.org/10.3131/jvsj.27.589