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池田 信一 and 町井 省文 and 森本 明弘,研磨・研削技術 （その２） 半導体製造用ガス供給配管機器の研磨技術,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1997,40,7,601-606,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204064751488,https://doi.org/10.3131/jvsj.40.601