Silicon Micromachining Technologies Applied to Micromachine Devices

DOI Web Site 20 References
  • SATO Kazuo
    Department of Microsystem Engineering, Nagoya University

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  • マイクロマシン　　マイクロマシンにおけるシリコン加工技術
  • カイセツ マイクロマシン ニ オケル シリコン カコウ ギジュツ

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  • Shinku

    Shinku 43 (2), 106-111, 2000

    The Vacuum Society of Japan

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